◎ 工藝簡(jiǎn)介

RT型不銹鋼硅烷燃燒凈化塔是處理硅烷、氨氣及其他堿性可溶性氣體的廢氣凈化設(shè)備，主要用于處理太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線行業(yè)以及PECVD化學(xué)氣相沉積工藝所產(chǎn)生的廢氣。本公司依托自身技術(shù)能力的優(yōu)勢(shì)，積極消化進(jìn)口同類先進(jìn)設(shè)備，在有關(guān)研究設(shè)計(jì)單位、經(jīng)過(guò)多年的努力，終于成功研制出具有世界先進(jìn)水平的尺丁型不銹鋼硅烷燃燒凈化塔。本產(chǎn)品在結(jié)構(gòu)上主要由不銹鋼殼體、燃燒系統(tǒng)、洗滌系統(tǒng)和清渣系統(tǒng)組成。在進(jìn)氣方面采用壓縮空氣加新風(fēng)進(jìn)氣0雙進(jìn)風(fēng)形式，提高產(chǎn)品運(yùn)行效率和可靠性。在噴淋系統(tǒng)方面，采用循環(huán)水泵與自動(dòng)補(bǔ)水相結(jié)合的方法，風(fēng)機(jī)采用一用一備形式，這些工藝特點(diǎn)使得本產(chǎn)品在安全可靠性方面得到極大保證。內(nèi)部燃燒室采用特殊的泄壓裝置，即使在內(nèi)部壓力突然增大的情況下仍能正常工作，同時(shí)配備了氮?dú)馊肟冢哟罅嗽O(shè)備的安全性。在粉塵收集方面采用靜壓沉積的方法，沉積下來(lái)的粉塵通過(guò)排渣0排出，這使粉塵收集處理變得更容易、更有效。經(jīng)權(quán)威部門實(shí)測(cè)，客戶單位硅烷（SiH4）去除率）99.99%，氨氣（NH3）以及其它水溶性氣體的凈化率高達(dá)99.99％。

◎ 配置清單

備注：具體設(shè)備配置根據(jù)生產(chǎn)線所產(chǎn)生的廢氣量大小選型設(shè)計(jì)。

◎ 工作原理

本產(chǎn)品采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼板制造，根據(jù)硅烷與空氣接觸而自燃的特性，使硅烷在燃燒室與空氣接觸燃燒，燃燒后的氣體穿過(guò)填料層再進(jìn)入燃燒塔噴淋室，經(jīng)過(guò)噴霧處理，使廢氣與中和循環(huán)液充分接觸反應(yīng)，然后進(jìn)入脫液器脫液處理后由抽風(fēng)機(jī)排入大氣，達(dá)標(biāo)排放。

◎ 技術(shù)特點(diǎn)

硅烷（SiH4）去除率≥99.99%，氨氣（NH3）以及其它水溶性氣體的凈化率高達(dá)99.99％。

◎ 行業(yè)應(yīng)用

該設(shè)備適用范圍：太陽(yáng)能光伏、多晶硅生產(chǎn)線、電子行業(yè)等硅烷燃燒凈化廢氣治理。